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气体纯度及其表示法

2022/11/02

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      由于气体分为简单气体、多组分气体、混合气体和有机化合物气体,构成气体的物质(或元素)可称为气体组分。因此,气体纯度的含义可以理解为除气体成分外还包含许多其他物质。例如,氮的纯度是指除N组分外,O2、H2、Ar、CO2、H2O、金属和灰尘颗粒等杂质的量;氨的纯度是指除NH3外,O2、N2、CO2、H2O和灰尘颗粒等杂质的量;另一个例子是氮气和氦气的混合物,它指的是N2和He组分旁边的杂质量,如O2、CO2、H2O尘埃颗粒。参考气体纯度的方法有很多,如普通清洁气体、高纯度气体、电子清洁气体、超纯气体等。

      随着超大集成电路(VLSI)和超大规模集成电路(ULSI)的发展,出现了VLSI和ULSI级的纯气体。这些公式并不十分准确,但它们只给出了气体纯度的粗略描述,而不是气体纯度的大小。有两种主要方法可以准确地表示气体的纯度。

  1.       以百分比表示,如99%、99.5%、99.9%、99.999%、99.9999%、99.999%、99.999 9%、99.99 9%、99.99.999%等。

  2.        使用“N”显示,如3N、5N、4.8N、5.5N、6N、7N等。数字N对应于(1)中的数字“9”,小数点后的数字表示小于“9”的数字。例如,4N(99.99%)6N(99.9999%)7N(99.999%)4.8N(99.998%)5.5N(99.99.95%)等。

    根据气体纯度的不同,气体纯度一般分为四级,即普通气体、纯气体、高纯度气体和超高纯度气体。

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