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解密电子特气【N2O】

2022/12/09

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电子特种气体是电子气体的一个重要分支,是集成电路、显示面板等电子工业生产中不可或缺的原材料。电子特气种类众多,广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等环节,被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等材料的“粮食”和“源”,决定了器件的最终良率和可靠性。

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一氧化二氮作为电子气体主要用于半导体光电器件研制生产的介质膜工艺,是直接影响光电器件质量的不可替代的关键点子气体。分析报告高纯一氧化二氮是PECVD工艺积淀SiO2膜,掩蔽膜、钝化膜、器件抗反增透膜的重要原料。N2O纯度直接影响到SiO2膜纯度,如果杂质含量高,沉积的SiO2膜颗粒多,不光亮,产商表面折射率不均匀等现象,不利于光刻工艺的进行。如果N2O中微量水含量高,可造成SiO2膜含氢量大,致密性达不到要求,导致器件工作状态不稳定,抗电磁辐射能力不强。因此为保证光电器件产品的质量和可靠性,要求一氧化二氮纯度必须在5N(99.999%)以上,技术壁垒较高。

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随着科学技术向高、精、尖发展,对各种原材料纯度的要求开始越来越高。但是,高纯气体所能提供的数量通常总是较少由于技术水平限制,我国高纯N2O大多从国外进口,长期处于高纯N2O供应严重不足的状态,价格昂贵的弊端越来越显著。


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