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半导体产业链之电子特种气体行业深度研究

2021/12/16

特种气体主要包括高纯气体、电子气体、标准气体三大类,电子特种气体(简称电子特气)是特种气体的 一个重要分支,是超大规模集成电路(IC)、平面显示器件(LCD、LED、OLED)、太阳能电池等电子工业生产不 可或缺的原材料。

通常半导体生产行业,将气体划分成常用气体和特殊气体两类。其中,常用气体指集中供给而且使用非常 多的气体,比如 N2、H2、O2、Ar、He 等。特种气体指半导体生产环节中,比如延伸、离子注进、掺和、洗涤、 遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体,也就是气体类别中的电子气体,比如高纯度的 SiH4、PH3、AsH3、B2H6、 N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2等,在 IC 生产环节中,使用的电子气体有差不多有 100 多种, 核心工段常见的在 30 种左右。正是这些气体通过不同的制程使硅片具有半导体性能,它又决定了集成电路的性 能、集成度、成品率,即使是某一种某一个特定杂质超标,都将导致质量严重缺陷,严重时会因不合格气体的 扩散,导致整个生产线被污染,乃至全面瘫痪。因此,电子气体是制造过程基础关键材料,是名副其实的电子 工业“血液”。

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(报告观点属于原作者,仅供参考。来源未来智库)